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            白光形貌儀

            簡要描述:中圖儀器SuperViewW1白光形貌儀基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求,SuperView W的復合型EPSI重建算法,解決了傳統相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。

            • 更新時間:2024-01-12
            • 產品型號:SuperViewW1
            • 廠商性質:生產廠家
            • 訪  問  量:35

            詳細介紹

            品牌CHOTEST/中圖儀器產地類別國產
            應用領域能源,電子,電氣,綜合

            中圖儀器SuperViewW1白光形貌儀基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。

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            針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求,SuperView W的復合型EPSI重建算法,解決了傳統相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下,只需要確定起點和終點,即可自動掃描, 重建其超光滑的表面區域,不見一絲重疊縫隙。

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            超光滑透鏡測量


            SuperViewW1白光形貌儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。


            產品功能

            (1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

            (2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能;

            (3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能;

            (4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能;

            (5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

            (6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

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            大尺寸樣品_拼接測量


            應用領域

            對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

            應用范例:

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            SuperViewW1白光干涉儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點,測量單個精細器件的過程用時短,確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。


            部分技術指標

            型號W1
            光源
            白光LED
            影像系統1024×1024
            干涉物鏡

            標配:10×

            選配:2.5×;5×;20×;50×;100×

            光學ZOOM

            標配:0.5×

            選配:0.375×;0.75×;1×

            物鏡塔臺

            標配:3孔手動

            選配:5孔電動


            XY位移平臺

            尺寸320×200㎜
            移動范圍140×100㎜
            負載10kg
            控制方式電動
            Z軸聚焦行程100㎜
            控制方式電動
            Z向掃描范圍10 ㎜
            主機尺寸(長×寬×高)700×606×920㎜

            懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

            如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。

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