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            材料激光共聚焦顯微鏡

            簡要描述:VT6000系列材料激光共聚焦顯微鏡可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。

            • 更新時間:2024-01-12
            • 產品型號:VT6100
            • 廠商性質:生產廠家
            • 訪  問  量:31

            詳細介紹

            品牌CHOTEST/中圖儀器價格區間面議
            產地類別國產應用領域能源,電子,電氣,綜合

            中圖儀器VT6000系列材料激光共聚焦顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。它以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數。

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            3D:表面粗糙度、平整度、孔洞體積、幾何曲面、紋理方向、PSD等分析;

            2D:剖面粗糙度、幾何輪廓測量、頻率、孔洞體積、Abbott參數等分析。


            產品功能

            (1)設備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;

            (2)設備具備自動拼接功能,能夠快速實現大區域的拼接縫合測量;

            (3)設備具備一體化操作的測量與分析軟件,預先設置好配置參數再進行測量,軟件自動統計測量數據并提供數據報表導出功能,即可快速實現批量測量功能;

            (4)設備具備調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能;

            (5)設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

            (6)設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實現批量數據文件的快速分析功能;


            應用領域

            對各種產品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

            應用范例:

            應用應用.jpg


            VT6000系列材料激光共聚焦顯微鏡可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中??蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。


            應用場景

            1、鐳射槽

            測量晶圓上激光鐳射槽的深度:半導體后道制造中,在將晶圓分割成一片片的小芯片前,需要對晶圓進行橫縱方向的切割,為確保減少切割引發的崩邊損失,會先采用激光切割機在晶圓表面燒蝕出U型或W型的引導槽,在工藝上需要對引導槽的槽型深寬尺寸進行檢測。

            應用場景(鐳射槽.jpg

            2、光伏

            在太陽能電池制作工程中,柵線的高寬比決定了電池板的遮光損耗及導電能力,直接影響著太陽能電池的性能。共聚焦顯微鏡可以對柵線進行快速檢測。此外,太陽能電池制作過程中,制絨作為關鍵核心工藝,金字塔結構的質量影像減反射焰光效果,是光電轉換效率的重要決定因素。共聚焦顯微鏡具有納米級別的縱向分辨能力,能夠對電池板絨面這種表面反射率低且形貌復雜的樣品進行三維形貌重建。

            應用場景(光伏.jpg

            3、其他

            應用場景4.jpg


            部分技術指標

            型號VT6100


            行程范圍

            X100mm
            Y100mm
            Z100mm
            外形尺寸
            520*380*600mm
            儀器重量50kg
            測量原理共聚焦光學系統
            顯微物鏡10×;20×;50×;100×
            視場范圍120×120 μm~1.2×1.2 mm
            高度測量
            寬度測量
            XY位移平臺負載10kg
            控制方式電動
            Z0軸掃描范圍10mm
            物鏡塔臺5孔電動
            光源白光LED

            懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

            如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。

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